UVW 정렬 스테이지 및 XYθ (세타) 스테이지라고도하는 XXY 정렬 스테이지는 고정밀 정렬 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. XY 평면에서 움직이며 XY 평면의 중심을 중심으로 회전합니다. 정렬 테이블 또는 XY 회전 스테이지라는 용어는 종종 XYθ, XY-θ 스테이지 또는 UVW 스테이지와 교환 가능하게 사용됩니다.
G 레벨 2μm, B 레벨 5μm, P 레벨 10μm의 3 가지 정밀도 등급에서 각각 10 가지 모델로 제공되는이 모델은 선형 이동 거리가 ± 5mm입니다. 또한 XXY 스테이지는 XY 평면의 중심을 ± 5 °에서 ± 2 °까지 회전 할 수 있으며 수평로드는 10kg에서 100kg까지 회전 할 수 있습니다.
정밀 정렬 기술 적용
마이크로 기계, 초정밀 기계 가공, 나노 기술 및 반도체 분야의 광범위한 응용 분야
정밀 정렬 기술
모터 및 드라이버, 고해상도 정밀 정렬 단계, CCD 카메라 및 이미지 수집 카드, 이미지 처리 알고리즘 소프트웨어 및 제어
가장 중요한 협약 : 고해상도 정밀 정렬 단계.
다음으로 정렬 시스템에서 UVW / XXY 정렬 스테이지의 이동 단계를 소개합니다.
1 단계 : 로봇이 상부 유리 플레이트를 작업 스테이지 위에 고정하여 상부 유리 플레이트 타겟이 CCD 시야 내에 위치하여 타겟의 위치를 결정합니다.
2 단계 : 로봇이 하부 유리판을 잡아서 작업 플랫폼에 올려 놓지 않도록하여 하부 유리판의 타겟이 CCD의 시야 내에 있도록하여 타겟의 위치를 결정합니다.
3 단계 : 하부 유리판 표적과 상부 유리판 표적 사이의 상대적 위치 차이에 따라 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 모터를 구동하는 UVW / XXY 단계의 이동량 (X, Y, Φ)을 계산합니다 하부 유리판과 상부 판을 만드는 움직임. 유리판은 정확하게 정렬됩니다.
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XXY 시리즈 정밀 정렬 단계 :
XXY5M-01 정밀 정렬 단계 :
GX 시리즈 정밀 X 축 전동 스테이지 :
GZ 시리즈 정밀 Z 축 모터 스테이지
GTZ 시리즈 정밀 Z 축 웨지 승강기 :
GXY 시리즈 정밀 XY 축 모터 스테이지 :
GXYZ 시리즈 정밀 XYZ 축 모터 스테이지 :
GTXYZ 시리즈 정밀 XYZ 축 웨지 동력 스테이지 :
